電子工程系

一、研究主題與目標

(1) LTPS-TFT: 研製具高載子移動率、低漏電流、高輸出電流之元件。

(2) Organic TFT: 研製具高載子移動率、低漏電流、高輸出電流、高壽命穩定性

之元件。

(3) TFT-OLED驅動電路設計與製程整合: 設計具備穩定電流輸出與亮度穩定之

驅動電路，並研究TFT-OLED製程整

合之方式

二、最近研究題目

(1) TFT-OLED驅動電路設計

以準分子雷射(ELA)結晶之複晶矽薄膜電晶體(poly-Si TFTs)在主動式有機發光顯示器(AMOLEDs)之可用性。研究中所設計之AMOLEDs 面板大小為1.9 吋、解析度為160 x 120 x 3，畫素驅動是由兩顆驅動電晶體與一個儲存電容(2T1C)所組成，並透過H-SPICE 模擬軟體針對設計之驅動電路與AMOLEDs 之亮度均勻性進行模擬，電路模擬之TFTs 參數採用RPI poly-Si TFT model 並套用實際製作之ELA poly-Si TFTs 的各項特性與參數。

(2) 高性能低溫製作複晶矽薄膜電晶體元件技術之研究(LTPS-TFT)

本研究室主要從複晶矽結晶(Excimer Laser, CW Laser, SPC)、Laser 活化、氫化技術及低溫沉積閘極氧化薄膜等方面，探討LTPS-TFT元件特性改善技術之研究，相關研究成果如下所示。

(3) OTFT特性及壽命提升與OTFT-OLEDs製程整合技術之研究

本研究室亦規劃從事Organic TFT (OTFT)相關研究，以低溫製程方式製作OTFT於塑膠基板上，針對OTFT之gate oxide、active layer materials、S/D metals、surface treatment與元件特性、life time提升為主要研究方向，並將以此技術為基礎，開發OTFT-OLEDs之製程整合技術，以製作Flexible AMOLEDs Panel.

三、主要的研究成果與所執行的計劃（限於篇幅，各種請填具代表性一～二篇）

(一) 論文

1. Ching-Lin Fan, Mao-Chieh Chen, and Yi Change, J. Electrochem. Soc. vol. 150, no.8, H178-H181, 2003.

2. Ching-Lin Fan and Mao-Chieh Chen, Electrochemical and Solid State Lett., vol. 5, no. 8, p. G75-G77, 2002.

(二) 專利

1. 薄膜電晶體之多晶矽製造方法 (No. 20149, 中華民國)

(三) 計畫

1. 固態連續波雷射結晶於主動驅動有機電激發光顯示器低溫複晶矽薄膜電晶體之研究(NSC 94-2215-E-011 -005)

2. 薄膜電晶體有機電激發光顯示器驅動電流量測及面板特性老化系統之開發及其電性之研究(NSC 94-2622-E-011 -012 -CC3)

(四) 研究設備

本研究室主要設備有：class5000潔淨室、半導體參數量測儀、低漏電流探針機台系統、低漏電流探針座、低濕氧環境腔體系統、高密度電漿薄膜沉積系統、線性源有機薄膜蒸鍍系統等。